德國英福康INFICON CDG025D電容膜片真空計產(chǎn)品簡介：

INFICON SKY CDG025D 電容膜片計系列高精度溫度補償壓力計專為在惡劣的制造工具環(huán)境中保持穩(wěn)定的性能而設(shè)計。

先進的數(shù)字電子設(shè)備可提高儀表性能并提供易于操作的功能，例如一鍵歸零功能和設(shè)定點調(diào)整。

耐腐蝕陶瓷傳感器提供的零穩(wěn)定性，預期壽命長達數(shù)百萬個壓力循環(huán)，包括大氣爆裂。傳感器屏蔽可保護儀表免受過程污染。

穩(wěn)健的機械設(shè)計和數(shù)字電子設(shè)備提高了 EMC 兼容性、長期穩(wěn)定性和溫度補償。

CDG025D 為通電后的快速穩(wěn)定性和大氣壓力暴露的快速恢復設(shè)定了新標準。

產(chǎn)品特點：

. 滿量程范圍從 100 mTorr … 1000 Torr

. 上電后快速穩(wěn)定

. 從大氣壓中快速恢復

. 耐腐蝕陶瓷傳感器

. 長期信號穩(wěn)定性

. 溫度補償

. 傳感器免受污染

. 一鍵歸零功能

. 寬范圍電源。

德國英福康INFICON CDG025D電容膜片真空計產(chǎn)品應(yīng)用：

. 用于蝕刻、CVD、PVD、ALD的半導體制造設(shè)備

. 數(shù)據(jù)存儲和顯示制造設(shè)備

. 工業(yè)真空設(shè)備

. 通用高精度壓力測量。